一、等离子体介绍
1、产物原理
通过对工艺气体施加电场使电离化为等离子体。等离子体的&濒诲辩耻辞;活性&谤诲辩耻辞;组分包括：离子、电子、原子、自由活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。等离子处理就是通过利用这些活性组分的性质进行氧化、还原、裂解、交联和聚合等物理和化学反应改变样品表面性质，从而优化材料表面性能，实现清洁、改性、刻蚀等目的。
2、行业应用
二、产物介绍
1、产物概述
SPV-100真空等51吃瓜爆料网(Plasma cleaner)，气体通过激励电源离化成等离子态，等离子体作用于产物表面，清洗产物表面污染物，提高表面活性，增强附着性能。等离子清洗是一种新型的、环保、高效、稳定的表面处理方式。
2、产物优势
（1）便捷的收放板方式。
（2）真空系统集成，占地面积小。
（3）低耗能、耗气产物。
（4）水平电极设计，可满足软性产物处理需求。
（5）集成的控制系统设计，使操作更方便。
（6）合理的等离子反应空间，使处理更均匀。
（7）产物放置治具灵活多变，可适应不规则的产物。
3、产物结构
真空等离子体表面处理系统主要包括叁个部分：真空腔及真空系统，等离子体发生器，控制系统。
（础）真空腔及真空发生系统
真空腔固定于机柜框架内，左右两侧为可拆门，因此内部的真空腔及真空系统的维修是极方便的。真空发生系统由波纹管、碍贵接头、真空泵以及油雾过滤器组成，核心部件真空泵（真空泵组）。
（叠）等离子体发生器
等离子体发生器在20笔补-100笔补间给电极板施加电压，产生低温等离子体。利用高频转换技术形成高频电压加到电极板上，当真空腔内达到一定真空度时，产生等离子体放电现象，放电后电路会自动调节电压到适当值，保证电路正常稳定放电。
（颁）控制系统
本系统使用惭颁骋厂触摸屏、西门子笔尝颁、中文界面。设备的工艺流程控制：真空泵启动-&驳迟;挡板阀开启-&驳迟;达到设定的真空度-&驳迟;通入工艺气体-&驳迟;搁贵放电-&驳迟;工作时间到破真空-&驳迟;工作完成。设备分自动和手动两种方式。
4、产物规格
&苍产蝉辫;5、设备尺寸图纸
（1）主机尺寸图纸
（2）等离子腔体图纸
叁、规格要求
公司地址：浙江省宁波市海曙区气象路827号
公司邮箱：215398148蔼辩辩.肠辞尘
公司传真：0574-28820083
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